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一种制造装置，包含腔室、减压装置和回流配管。减压装置构成为对腔室内进行减压。回流配管包含第1开口部、管道和第2开口部。第1开口部和第2开口部分别独立地在腔室内开口。第1开口部与外装体连接。管道将第1开口部和第2开口部连接。管道构成为在腔室内...
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