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一种半导体分选设备及分选方法技术
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文档序号:37672086
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本申请公开了一种半导体分选设备及分选方法,设备包括主盘、副盘、测试支承件、真空吸附组件、驱动组件和拨动组件;测试支承件设置于副盘朝向主盘的一侧,测试支承件能够在垂直方向上靠近或远离副盘运动;真空吸附组件,包括真空吸嘴,真空吸嘴设置于主盘朝向...
该专利属于通富微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通富微电子股份有限公司授权不得商用。
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