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本发明涉及一种液体循环过滤装置及样本表面切削成像系统,包括:加工槽;吸液过滤支路,包括:具有斜口结构的吸液头、水气两用泵、过滤器;水气两用泵的抽液口连通吸液头并控制吸液头抽取加工槽内加工液的抽液流量,水气两用泵的出液口连通过滤器的进液口;储...该专利属于华中科技大学苏州脑空间信息研究院所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学苏州脑空间信息研究院授权不得商用。
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本发明涉及一种液体循环过滤装置及样本表面切削成像系统,包括:加工槽;吸液过滤支路,包括:具有斜口结构的吸液头、水气两用泵、过滤器;水气两用泵的抽液口连通吸液头并控制吸液头抽取加工槽内加工液的抽液流量,水气两用泵的出液口连通过滤器的进液口;储...