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本发明公开了一种用于激光加工的在线检测调控装置与方法，以解决现有的激光调控装置体积庞大且展宽能力低，导致激光加工精度低的技术问题。具体包括光源、第一棱栅组件、第二棱栅组件、分光镜组件、激光探测器及控制单元；光源发射入射激光；第一棱栅组件和第...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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