温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及光波导技术领域，提供一种波导结构及其制备方法、光学天线及其制备方法、光学相控阵芯片。波导结构包括衬底、束缚层和波导层，束缚层包括第一包覆层和位于第一包覆层中的光束缚结构，第一包覆层的折射率低于光束缚结构的折射率，波导层包括第二包覆...
该专利属于北京万集科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京万集科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。