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激光甲烷探测器制造技术
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文档序号:37668512
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本发明公开激光甲烷探测器,热沉直接封装在管座上,热沉设有给芯片加热的薄膜加热电阻;采用上述方案后,本发明不使用昂贵的TEC材料,成本大大降低,在热沉上设计薄膜电阻给芯片加热,在热沉上制作薄膜电阻成本低廉,工艺成熟、可靠性高。可靠性高。可靠性...
该专利属于厦门三优光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门三优光电股份有限公司授权不得商用。
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