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本申请公开了一种体声波谐振器及相关设备,包括谐振器组件、滤波器和电子设备,以及体声波谐振器的制备方法,该体声波谐振器包括衬底和在衬底上依次层叠的声反射元件、第一电极、压电层和第二电极,其中,第一电极和压电层之间设置有第一间隙,压电层和第二电...该专利属于见闻录(浙江)半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过见闻录(浙江)半导体有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种体声波谐振器及相关设备,包括谐振器组件、滤波器和电子设备,以及体声波谐振器的制备方法,该体声波谐振器包括衬底和在衬底上依次层叠的声反射元件、第一电极、压电层和第二电极,其中,第一电极和压电层之间设置有第一间隙,压电层和第二电...