下载一种输送路径密封隔离系统的技术资料

文档序号:37665025

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本发明公开了一种输送路径密封隔离系统,摒弃在水平方向索取承接部件参与工作即平移运动所需的空间;为避免承接部件与密封隔离部件在隔绝两个腔室期间产生干涉,至少利用相邻承接转盘在输送路径交替区域上下分布的结构特征,引导两个承接转盘扩大在竖直方向上...
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