下载背照式图像传感器的形成方法的技术资料

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一种背照式图像传感器的形成方法,包括:提供第一半导体衬底,所述第一半导体衬底具有相对的第一面和第二面;在所述第一半导体衬底内形成若干深沟槽;在所述深沟槽的底部和/或侧壁形成金属层;采用选择性金属沉积工艺在所述金属层上形成第一隔离结构,所述第...
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