温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种背照式图像传感器的形成方法,包括:提供第一半导体衬底,所述第一半导体衬底具有相对的第一面和第二面;在所述第一半导体衬底内形成若干深沟槽;在所述深沟槽的底部和/或侧壁形成金属层;采用选择性金属沉积工艺在所述金属层上形成第一隔离结构,所述第...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种背照式图像传感器的形成方法,包括:提供第一半导体衬底,所述第一半导体衬底具有相对的第一面和第二面;在所述第一半导体衬底内形成若干深沟槽;在所述深沟槽的底部和/或侧壁形成金属层;采用选择性金属沉积工艺在所述金属层上形成第一隔离结构,所述第...