下载功率器件元胞结构及其制备方法和功率器件的技术资料

文档序号:37663908

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本发明公开了一种功率器件元胞结构及其制备方法和功率器件,功率器件元胞结构包括:依次叠层设置的集电极、第一导电类型的集电区、第二导电类型的漂移区、第一导电类型的阱区、第一导电类型的注入区、第一绝缘层和发射极,第一绝缘层中开设有接触孔,发射极通...
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