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一种硅料烘干冷却的设备制造技术
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下载一种硅料烘干冷却的设备的技术资料
文档序号:37662890
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本实用新型公开了一种硅料烘干冷却的设备,涉及硅料加工设备领域,其技术方案包括底板、烘干箱和冷却箱,烘干箱的外部活动连接有第一石英管,冷却箱的外部活动连接有第二石英管,第一石英管与第二石英管之间活动连接,底板的外部对称安装有伺服电机,底板的外...
该专利属于江苏众鑫磁电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏众鑫磁电有限公司授权不得商用。
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