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本实用新型公开了一种真空炉及坩埚。其中真空炉包括:承载板,承载板包括本体部和凸部;坩埚,坩埚包括底壁和侧壁,底壁和侧壁共同限定出腔体,底壁上设有与凸部相对应的凹部,以使凸部伸入凹部;其中,凸部和凹部上各有至少一个限位平面,凸部和凹部配合,凸...该专利属于深圳市美格真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市美格真空科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种真空炉及坩埚。其中真空炉包括:承载板,承载板包括本体部和凸部;坩埚,坩埚包括底壁和侧壁,底壁和侧壁共同限定出腔体,底壁上设有与凸部相对应的凹部,以使凸部伸入凹部;其中,凸部和凹部上各有至少一个限位平面,凸部和凹部配合,凸...