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本实用新型公开的一种用于PCB蚀刻板清洗的双腔等离子蚀刻清洗机，包括控制箱、作为PCB板主工作腔的第一控制单元和作为PCB板辅助工作腔的第二控制单元；第一控制单元的工作腔体与第二控制单元的工作腔体相互独立设置，控制箱控制第一控制单元和第二控...
该专利属于珠海恒格微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海恒格微电子装备有限公司授权不得商用。

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