温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及超声探测系统,该压电微机械超声波换能器包括PMUT单元和挡板,其中,PMUT单元包括形成于衬底上的至少用于发射和接收超声波的PMUT阵元,挡板覆盖于部分PMUT阵元发射超声波的一侧发射方向上。该压电微...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及超声探测系统,该压电微机械超声波换能器包括PMUT单元和挡板,其中,PMUT单元包括形成于衬底上的至少用于发射和接收超声波的PMUT阵元,挡板覆盖于部分PMUT阵元发射超声波的一侧发射方向上。该压电微...