下载压电微机械超声波换能器及超声探测系统的技术资料

文档序号:37644672

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本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及超声探测系统,该压电微机械超声波换能器包括PMUT单元和挡板,其中,PMUT单元包括形成于衬底上的至少用于发射和接收超声波的PMUT阵元,挡板覆盖于部分PMUT阵元发射超声波的一侧发射方向上。该压电微...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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