下载一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法的技术资料

文档序号:37643974

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法,包括回收氯化氢吸收塔以及加压泵;所述回收氯化氢吸收塔的回收氯化氢入口与尾气氯化氢解析塔的回收氯化氢出口连通,所述加压泵的入口与所述回收氯化氢吸收塔的氯化氢
...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。