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一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法技术方案
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下载一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法的技术资料
文档序号:37643974
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本发明提供一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法,包括回收氯化氢吸收塔以及加压泵;所述回收氯化氢吸收塔的回收氯化氢入口与尾气氯化氢解析塔的回收氯化氢出口连通,所述加压泵的入口与所述回收氯化氢吸收塔的氯化氢
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该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。
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