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一种微机电多轴角速度感测器，包括一基板和一微机电晶圆层平行相对设置，以及多个固定锚将该微机电晶圆层连接以固定至该基板上。该微机电晶圆层包括至少二驱动及感测结构、一第三驱动环以及二个摆动质量块。每一驱动及感测结构包括一驱动环、多个驱动电梳对结...
该专利属于苏州明皜传感科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州明皜传感科技股份有限公司授权不得商用。

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