下载一种电磁式微型数字平面传送装置的技术资料

文档序号:37640220

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本发明属于微纳器件技术领域,尤其涉及一种电磁式微型数字平面传送装置,包括:定子、动子和限位结构,定子包括底座和驱动单元,驱动单元包括四个金属线圈;动子设置于驱动单元的上方,动子包括基板以及设置于基板上的两横向永磁体和两纵向永磁体;限位结构设...
该专利属于深圳陕煤高新技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳陕煤高新技术研究院有限公司授权不得商用。

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