温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种原位制备图形微结构薄膜的分子束外延装置及方法，反应腔底部安装有光栅透镜、平面超透镜和激光光源。在分子束外延工艺过程中，激光光源通过平面超透镜变为平行光，再通过光栅透镜形成平面微结构图案并垂直照射到衬底表面。光栅透镜与衬底分别通...
该专利属于广东众元半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东众元半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。