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本实用新型公开一种干靶装置,其中,干靶装置包括混合腔组件、真空泵以及振动子;混合腔组件包括靶板和盖板,盖板盖合于靶板并围合形成有干燥腔;真空泵连通干燥腔,以抽取干燥腔内的空气;振动子连接于混合腔组件,以使干燥腔内的样本与基质振动。本实用新型...该专利属于中元汇吉生物技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中元汇吉生物技术股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种干靶装置,其中,干靶装置包括混合腔组件、真空泵以及振动子;混合腔组件包括靶板和盖板,盖板盖合于靶板并围合形成有干燥腔;真空泵连通干燥腔,以抽取干燥腔内的空气;振动子连接于混合腔组件,以使干燥腔内的样本与基质振动。本实用新型...