下载一种磁悬浮透平真空泵的自冷却机构的技术资料

文档序号:37624634

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本发明适用于磁悬浮真空泵技术领域,提供了一种磁悬浮透平真空泵的自冷却机构,包括上级泵体、下级泵体和冷却机构;所述冷却机构包括冷却管,所述冷却管的管壁内部设有若干转动空间,若干所述转动空间内均设有冷却喷头组件;所述冷却喷头组件包括转动连接在转...
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