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本发明公开了一种低功耗可阵列式微尺度化的等离子体激励器，包括电一层上电极层、一层绝缘介质层、一层下电极层组成的“三明治”结构，并且在上电极层和中间绝缘介质层进行微米尺度的微凹槽加工，使上电极层与中间绝缘介质层的微凹槽开口尺寸一致。两层电极在...
该专利属于中国航天空气动力技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天空气动力技术研究院授权不得商用。

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