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本发明专利公开了一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统，包括检测部分以及自准直系统，检测部分包括所述白光干涉系统，具体为依次设置的1550nmASE宽带光源、第一反射镜、第一分束棱镜、第二反射镜、参考反射镜，第一分束棱镜的两侧分别设置有待...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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