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本申请提供一种半导体器件的制造方法以及半导体器件,方法包括提供带有p型掺杂区域的半导体外延结构;在半导体外延结构上形成掩膜层和隔离层;对隔离层和掩膜层进行光罩刻蚀,以形成开口,露出p型掺杂区域;在残留的隔离层和露出的p型掺杂区域上,形成欧姆...该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。
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本申请提供一种半导体器件的制造方法以及半导体器件,方法包括提供带有p型掺杂区域的半导体外延结构;在半导体外延结构上形成掩膜层和隔离层;对隔离层和掩膜层进行光罩刻蚀,以形成开口,露出p型掺杂区域;在残留的隔离层和露出的p型掺杂区域上,形成欧姆...