下载一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法的技术资料

文档序号:37593501

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本发明公开了一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,属于气相沉积制备包覆层装置技术领域。本发明的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,包括密闭仓室和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和...
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