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本发明公开了一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪，包括：衬底层和器件层结构，所述器件层结构包括驱动双端固支梁、驱动框架、哥氏质量块、驱动耦合固支梁、驱动耦合折叠梁、检测双端固支梁、检测框架、检测桁架、检测耦合梁以及检测框架支点；所述器件层结...
该专利属于华芯智能（珠海）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华芯智能（珠海）科技有限公司授权不得商用。

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