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本发明公开了一种适用于高解离率远程等离子源的实时控制系统及方法，涉及控制技术、电力电子技术在半导体制程关键设备中的应用领域，包括远程等离子源系统运行状态监测单元、等离子负荷监测分析单元、双向数据互动单元、解离率在线实时检测单元和驱动电源功率...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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