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本发明提供了一种晶圆键合装置，包括：腔室、承片台、位置传感器、视觉传感器和调整机构；所述承片台设置于所述腔室内，用于放置晶圆和玻璃圆片；所述位置传感器设置于所述承片台，用于检测所述承片台上的所述晶圆的放置位置；所述视觉传感器设置于所述腔室上...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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