下载一种探针台及IGBT芯片测试系统的技术资料

文档序号:37571218

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本发明提供一种探针台及IGBT芯片测试系统,探针台包括:导电载台,导电载台适于承载IGBT芯片且与IGBT芯片的集电极接触;绝缘支撑件,绝缘支撑件位于导电载台的侧部;绝缘升降件,绝缘升降件与导电载台相对设置并适于沿着绝缘支撑件作升降运动;探...
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