下载一种砷化镓多晶无液封合成方法和装置的技术资料

文档序号:3757107

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本发明公开了一种砷化镓多晶无液封合成方法和装置,该方法在无液封砷化镓多晶合成基础上,又经过了垂直布里奇曼法定向结晶,合成的圆柱形GaAs多晶不存在镓团和砷团,且分布及不均匀,可以直接满足垂直布里奇曼法或者垂直梯度冷凝法GaAs单晶生长的需求...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所;天津晶明电子材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所;天津晶明电子材料有限责任公司授权不得商用。

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