下载半导体结构及其制作方法的技术资料

文档序号:3757044

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本发明涉及改进的半导体结构及其制作方法,使得在相同的绝缘层内,嵌在相同的绝缘层级内的Cu互连具有与嵌在相同的绝缘层级内的其它Cu互连不同的Cu粒度。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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