下载一种排灰除尘器的技术资料

文档序号:37570080

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本发明公开了一种排灰除尘器,涉及半导体制备技术领域,包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋,上壳体与下壳体连接,上壳体上开设有出风口,下壳体上开设有进风口和清灰口,上壳体和下壳体之间设置有花板,上壳体与花板之间的空间为净气室,气包...
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