下载差分真空系统控制装置的技术资料

文档序号:37568644

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本实用新型公开差分真空系统控制装置,通过设置有升降控制阀体对气囊式隔板滑动装配结构的升降进行控制,通过气囊式隔板滑动装配结构对腔室间隔结构左右两侧连通进行阻断,腔室间隔结构左右两端分别与离子源腔室和质量分析器腔室相连通,通过按压式充放气结构...
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