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本发明涉及烧结设备技术领域，具体涉及一种真空炉烧结装置及方法，包括工作台、两个模板和两个脱模组件，两个模板分别与工作台滑动连接，并间隔设置在工作台的上方，两个脱模组件分别设置在两个模板的内部；脱模组件包括操作杆、内板、两个安装架和两个弹簧，...
该专利属于青岛育豪微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛育豪微电子设备有限公司授权不得商用。

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