下载具有单向电极结构的声光调制器的技术资料

文档序号:37533406

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本发明公开了一种具有单向电极结构的声光调制器,包括依次层叠的LN衬底层、第一缓冲层和LN薄膜层,第一缓冲层上方设有嵌入于LN薄膜层中的光波导,LN薄膜层上方设有第二缓冲层,第二缓冲层上设有压电换能器,压电换能器包括具有单向电极结构的分离式叉...
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