温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种掩模板和曝光装置,掩模板包括:基板,所述基板包括邻近分布的第一透光区与第二透光区,所述基板的一侧设有反射结构,所述反射结构设置于所述第二透光区的外周,所述反射结构用于反射从所述基板的一侧投射至所述反射结构的光,所述反射结构反...该专利属于成都京东方显示科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都京东方显示科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种掩模板和曝光装置,掩模板包括:基板,所述基板包括邻近分布的第一透光区与第二透光区,所述基板的一侧设有反射结构,所述反射结构设置于所述第二透光区的外周,所述反射结构用于反射从所述基板的一侧投射至所述反射结构的光,所述反射结构反...