下载掩模板和曝光装置的技术资料

文档序号:37529930

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本发明公开了一种掩模板和曝光装置,掩模板包括:基板,所述基板包括邻近分布的第一透光区与第二透光区,所述基板的一侧设有反射结构,所述反射结构设置于所述第二透光区的外周,所述反射结构用于反射从所述基板的一侧投射至所述反射结构的光,所述反射结构反...
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