温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种快速计算厚掩膜光学散射的方法，包括：计算并保存需要计算光学散射的版图的各基本结构的光学散射量；对于要分析的集成电路full
...
该专利属于珠海市睿晶聚源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海市睿晶聚源科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。