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一种受热均匀的单晶硅炉制造技术
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下载一种受热均匀的单晶硅炉的技术资料
文档序号:37524738
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本申请提供了一种受热均匀的单晶硅炉,包括炉体、下料机构和提拉机构,还包括:承载组件,包括连接于炉体内壁的固定板、通过套管架连接于固定板顶端的坩埚和通过支撑杆连接于套管架输出端并与坩埚相配合的石墨加热器;转动调节组件,包括连接于炉体内壁底端的...
该专利属于任丘市金兴顺铝业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过任丘市金兴顺铝业有限公司授权不得商用。
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