温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了一种探针卡基板、探针卡及晶圆测试系统，属于晶圆测试技术领域。当前技术不能补偿探针卡基板的电源PAD连接到被测晶圆的电源PAD过程中产生的电压损耗，导致被测晶圆电源PAD的供电电压不够准确。本申请将测试机电源DPS分为force端...该专利属于赛迪工业和信息化研究院集团（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛迪工业和信息化研究院集团（苏州）有限公司授权不得商用。