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设备包含：预稀释器（６）、下游的被加热的汽化器（７）、在汽化器（７）下游的次级稀释器（８）以及与次级稀释器相邻的颗粒计数器（５）。次级稀释器（８）构成为“多孔管稀释器”并设置在汽化器（７）的出口和稳定腔（１４）之间，从该稳定腔（１４）中分岔...
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