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本发明提出了一种基于体积压缩原理的大量程谐振式压力传感器。相比传统的梁膜一体化结构，本发明利用体积压缩敏感原理，避免应力集中，提升耐压强度；通过对双谐振器的微支撑梁差异化设计实现两谐振器具有不同的压力灵敏度，进行双频解算，构建温度原位补偿的...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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