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流体计测用流路装置制造方法及图纸
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文档序号:3750274
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本发明的目的在于提供一种可以提高流体的计测精度的高精度的流体计测用流路装置,其包括多层流路部件(8)和流体路径(2)。多层流路部件由将计测流路隔成多个扁平流路(7)的隔板(13)、对隔板的两缘部进行支承的侧板(14、15)、平行地设置在隔板...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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