下载用于加工基板的装置的技术资料

文档序号:37499400

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用于加工基板的装置包括:主体构件,邻近基板的侧表面定位并旋转;旋转构件,联接至主体构件并且将旋转力传递给主体构件;以及周边研磨构件,联接至主体构件并且包括多个第一周边研磨构件和多个第二周边研磨构件,其中,第二周边研磨构件具有与第一周边研磨构...
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