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用于等离子体辅助处理设备的电压波形发生器制造技术
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下载用于等离子体辅助处理设备的电压波形发生器的技术资料
文档序号:37498167
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一种用于等离子体辅助处理设备的电压波形发生器,包括:公共节点;电压供应电路,可操作用于在第一开关节点处在至少两个电压电平之间切换;第一电感器,连接在第一开关节点和公共节点之间;以及控制单元,被配置成操作电压供应电路。压供应电路。压供应电路。...
该专利属于浦卓科技创新服务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浦卓科技创新服务有限公司授权不得商用。
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