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本发明涉及一种椭偏仪微光斑校准方法，选定一个标准测量样件，在椭偏仪大光斑模式下测得所述标准测量样件的第一反射光强信号；基于椭偏仪大光斑模式下的系统模型，利用第一反射光强信号对大光斑模式下的椭偏仪进行校准，获得系统参数；利用校准后的系统参数，...
该专利属于武汉颐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉颐光科技有限公司授权不得商用。

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