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本申请案的实施例涉及一种PVD方法及设备。根据本发明，提供一种通过物理气相沉积PVD将沉积材料沉积到形成在衬底中的多个凹槽中的方法，所述方法包括以下步骤：将所述衬底定位在衬底支撑件的衬底支撑上表面上，其中永磁体布置定位于所述衬底支撑上表面下...
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