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本实用新型提供有一种高精密探针用检测装置，包括底板，所述第一固定支架顶部设有第二固定座，所述第二固定座顶部设有显微镜，所述第二固定座底部设有变倍镜头，所述第二固定支架背面设有旋钮，所述第二固定支架侧边设有LED灯源，所述支撑腿顶部设有保护壳...
该专利属于湖南佳禾芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南佳禾芯半导体有限公司授权不得商用。

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