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本公开涉及一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备。该晶片传递机器人设备包括：手部模块，其包括从一个表面装载晶片的手部以及联接到手部以传递晶片的手臂；R轴模块，其包括中心轴、旋转马达构件、固定马达构件、以及圆柱形真空阻挡薄膜，并且该R轴模块...
该专利属于乐恩科技株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过乐恩科技株式会社授权不得商用。

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