下载辐射热测量计及其制作方法的技术资料

文档序号:3747495

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本发明提供了一种辐射热测量计及其制作方法,尤其涉及一种通过改变热敏电阻的结构而获得的一种辐射热测量计。该辐射热测量计结构中包括:基底、位于基底上方的支撑层、制作在支撑层上的下电极、下电极上制备有热敏电阻、热敏电阻上覆有上电极、上电极上制备有...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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