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本揭露是有关于一种用于在一生产车间(10)中更换一工件承载装置(50)以涂覆多个基板(12)的方法。此方法包括以下步骤：通过一机器人(16)将依工件承载装置(50)从一供应区(20)移动到一处理区(14)；通过机器人(16)进一步移动工件承...
该专利属于ALD真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ALD真空技术有限公司授权不得商用。

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