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本申请提供一种真空腔体烘烤方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：在真空腔体烘烤过程中，监控真空腔体的当前真空度；根据当前真空度与预设真空度阈值之间的大小关系，确定真空腔体的目标烘烤状态；根据真空腔体的目标烘烤状态，调节加热片和卤素灯的...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。

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